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成膜サービス

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受託成膜サービスの特長

スパッタ装置
スパッタ装置
めっき装置
めっき装置
 
①ナノメートルの薄膜から10μm以上の超厚膜のコーティングが可能
②電解めっき、無電解めっきのウェットプロセスからスパッタリング等のドライプロセスまで幅広い成膜方法が可能
③10mm以下の小基板からメーター級まで対応可能、さらに立体形状など特殊形状にも対応可能
③塗布材料、塗布基板に最適な表面改質が可能
④フォトリソ加工を組み合わせたパターニング成膜が可能
 
 

概要

弊社受託成膜サービスは下記のような流れになっております。
 
フローチャート
 

成膜例

ro-rusutannpa^   1.曲面へのコーティング
①レンズ金型へレジストを成膜
②ロール金型へレジストを成膜
     
モスアイパターン   2.ナノ凹凸(モスアイ形状)へのコーティング
     
ピラミッド形状の先端部のみにコーティング   3.超厚膜SiO2成膜
 

仕様

成膜方法 成膜材料 基板サイズ
熱酸化処理 NiO 最大200mmX150mm
スパッタリング Ni,Ni−Co,Alなど 最大Φ500mm
めっき(電解) Ag,Cu,Ni,Ni−Co,Ni−W(開発中)など 最大Φ800mm
めっき(無電解) Cu,Ni,Ptなど 最大Φ200mm
※上記仕様以外の成膜についてもご相談ください。
 
 

価格

価 格

5万円〜

 
 
 
 
本カテゴリーに関する技術は特許申請準備中のため、非公開となっております。
秘密保持契約を締結の上、詳細情報をご提示させていただきます。
詳しくは、弊社へお問い合わせください。
 
 
 
 
本カテゴリーに関する技術は特許申請準備中のため、非公開となっております。
秘密保持契約を締結の上、詳細情報をご提示させていただきます。
詳しくは、弊社へお問い合わせください。
 
 
 

 
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